前世EUV光刻机的联合研发成功几乎逼近当时人类物理学、材料学以及精密制造的极限除了光源功率要求极高透镜和反射镜系统也极致精密还需要真空环境配套的抗蚀剂和防护膜的良品率也不高别说ASML或Nikon就算是科技实力世界第一的美国以一国之力完全自主制造一台EUV光刻机比登天还难。
EUV光刻机被称为人类工业皇冠上的明珠! 汤普森院士团队虽然没有研制成功EUV但研究成果对GCA的光源和光学精密设备的不断改进贡献极大。
由于孙健重生濒临破产倒闭的GCA浴火重生重回全球光刻机的龙头企业之一成为EUV LLC联盟的重要成员汤普森院士团队专门研究EUV光源7年取得了不少重要技术成果EUV LLC联盟研制成功EUV光刻机肯定不需要15年。
GCA将成为全球唯一生产EUV光刻机的厂家ATIC将成为最大的受益者虽然孙健也乐见其成但以美国人的性格极有可能让ATIC交出GCA的控股权严禁出口EUV到中国这不是重生者愿意看到的结果。
前世被美国技术封锁举国之力孙健穿越前没有看到国产EUV光刻机的影子。
经过一年多的努力BSEC已经研究成功8英寸晶圆、250nm制程工艺的光刻机正在抓紧时间研制180nm制程工艺的光刻机。
制程工艺不断突破对BSEC来说都是突飞猛进的进步但同Nikon和GCA相比还有2代技术差距没有大肆宣传避免被仇视中国的美国国会议员盯上。
不到10年时间从4代技术差距缩短到2代BSEC的管理层和技术人员都尽力了。
孙健知道要是没有65nm制程工艺这道难关挡在光刻机业界的前面有他出钱出力BSEC在15年内也很难赶上光刻机技术实力雄厚的GCA和Nikon。
连李昌杰都不知道BSEC研究院院长邓国辉院士和所长钱富强研究员率领光源研究所的140多名研发人员经过2年半的潜心研究有孙健不断“点拨”终于在去年7月研制成功浸没式光刻系统技术ArF激光器发射的193nm光源通过纯净水的折射得到了波长134nm的光源解决了业界遇到的193nm波长的世界级难题还没有申请公司发明专利秘而不宣。
只能委屈钱富强和140多名研发人员了。
研究员钱富强凭借主持研发成功浸没式光刻系统技术攻克这项光刻机光源上的世界级难题凭借这一世界级的重大科研成果就能申请工程院院士。
邓国辉和钱富强从去年8月开始立项BSEC投资1亿元带领光源研究所静下心来开始研发EUV。
作为上市公司BSEC发布公告投资1亿元继续研究193nm波长的世界级难题。
即使能得到蔡司公司最先进的透镜和反射镜系统有资金支持孙健也怀疑BSEC研究院在20年内能否研制成功EUV光刻机? 停止研究也不可能买到EUV光刻机20年不行30年! “李总布罗迪先生余总已经拿到美国商务部的同意文件我们明天前往美国180nm制程工艺的半导体生产线的基建要加快进度增加人手保证11月底完工。
” 孙健今天参观的这条BSEC研发和生产的500nm制程工艺半导体生产线的建设工程已经到了设备安装阶段按照规划7月下旬将进行试生产。
“好的董事长!” “好的董事长!” 李昌杰和布罗迪都笑了他们从心底敬佩孙董事长的精明和胆识。
PGCA这次从GCA购买一条180nm制程工艺的半导体生产线是为国智电脑公司生产GZ-CX3准备的从3月初提交购买申请PGCA就已经开工大规模基建项目孙董事长笃定美国商务部这次不会反对GCA的出口申请。
陈永清院士率领国智CPU研究所台式机CPU研发部的600多名研发人员从去年10月4日就开始研制比肩PentiumⅢ和Athlon 700的GZ-CX3。
GZ-CX3设计采用双重独立总线结构内部集成1000万个晶体管频率从500MHz开始后期可以达到1GHz以上采用180nm制程工艺生产。
研发费用2.5亿元耗时10个月。
按照规划国智CPU研究所今年9月前就能研发成功GZ-CX3到时候有米没有锅! 这条180nm制程工艺的半导体生产线的基建规模庞大要是放在美国最少需要12个月的时间顺圆地产(京城)集团集中力量日夜施工争取在6个月内完成基建工程进入设备安装阶段8个月后进行试生产。
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